芯片产线属于7×24 小时连续不间断生产,属于一级 / 特级负荷。光刻机、刻蚀机、沉积设备等精密工艺设备对供电连续性、电能质量极其敏感,微小供电故障、配电室过热起火,会直接造成机台锁机、整批次晶圆报废,停工损失巨大。
在高低压开关柜、母线槽、UPS 柜关键接点部署无线测温传感器,实时采集温度,把电气火灾隐患前置预警;减少人工巡检工作量,实现配电设备状态检修,保障晶圆产线不间断稳定供电。
依据洁净厂房、电气火灾相关规范,工业配电室重要电气接点应配置在线温度监测;
半导体工厂安全生产、消防验收、双碳与能源数字化建设,要求配电设备状态可感知、可预警、可追溯。
无线测温数据接入电力监控 / 能源管理平台,实现集中监控、报警推送、报表留存,满足安监、消防、厂务运维的数字化管理要求,提前消除电气过热隐患,保障供电可靠性,降低非计划停机风险。
洁净厂房环境约束
半导体洁净区严禁大量布线、开孔,不允许引入多余粉尘污染源;开关柜内部空间紧凑、强电磁场环境,测温装置必须抗干扰、安装简单,无需停电即可加装传感器。
无线测温(无源 / CT 取电无线传感器)无需敷设测温线缆,贴装在发热接点,无线传输温度数据,适配改造与新建项目,不破坏柜体密封、不影响洁净等级。

半导体厂房配电系统负荷密度大,10kV 高压柜、0.4kV 进线 / 母联 / 抽屉柜、母线槽、UPS 柜大量集中;断路器触头、母排搭接点、电缆端子在长期大电流、谐波、热循环作用下,易出现螺栓松动、接触面氧化,接触电阻上升引发局部发热。
✅ 开关柜属于密闭腔体,热量积聚,人工红外巡检只能间断检测,无法24h在线监测,夜间、节假日的隐性温升隐患极易遗漏;
✅ 一旦接点持续过热,会引发绝缘老化、短路、电弧,轻则跳闸停机,重则配电室起火。洁净车间灭火、灾后洁净环境恢复成本高;
✅ 传统有线测温方案需要在高压/一次回路敷设信号线,绝缘处理难度大、施工繁琐,新增改造需要停电布线,严重影响产线连续生产;
✅ 运维模式由事后抢修,向状态检修、预测性维护转型,需要持续温度数据、历史曲线、多级预警,支撑 FMCS 厂务监控平台统一管理。

针对半导体厂房110kV/35kV/10kV变电站,在高低压开关柜、母线槽、UPS 柜关键接点部署无线测温传感器,实时采集温度,把电气火灾隐患前置预警;减少人工巡检工作量,实现配电设备状态检修,保障晶圆产线不间断稳定供电。
通过接收器读取安装在待测温部位的RFID传感器的温度数据,实现对测温接点的温度测量功能。


通过测荧光衰减时间反推温度的测温原理,是一种高精度、高可靠性测温设备,凭借抗电磁干扰、耐环境、测量精准等核心优势广泛应用于工业生产、电力系统、航空航天、医疗设备等对测温环境要求苛刻的场景。


在低压柜关键接点部署无线测温传感器,进行框架断路器接头/母排测温,抽屉柜电缆接头测温




✅项目概况:
广州某半导体配电工程为20kV配电系统,共有20kV开闭所2个、20kV变电所9个、0.4kV配电房10个。20kV开闭所均为两进线一母联系统,共设19回出线;20kV中置柜按6点无线测温配置、环网柜按3点无线测温配置,0.4kV低压柜按3点无线测温配置。
✅项目需求:
20kV配电系统:开闭所2个、20kV变电所9个中置柜按6点无线测温配置,环网柜按3点无线测温配置。总计303个ATE400无线测温传感器。
0.4kV配电系统:所有0.4kV柜子按3点无线测温配置,总计计774个ATE400无线测温传感器。
所有接点测温传感器数据无线发射到接收器,在就地集中显示后再统一上传至监控系统平台。总计配置接收器33只,集中显示屏19只。
✅配置特点:
1、本项目配置的无线测温传感器采用无源无线方式传输,提供产品的可靠性;
2、本项目温度无线收发通过中继器扩展并无线测温,大大提供现场施工成本。
安科瑞半导体厂房无线测温解决方案,在高低压开关柜、母线槽、UPS 柜关键接点部署无线测温传感器,实时采集温度,把电气火灾隐患前置预警;减少人工巡检工作量,实现配电设备状态检修,保障晶圆产线不间断稳定供电。